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光刻技术,不再重要了!是因为国产技术吗? ...
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光刻技术,不再重要了!是因为国产技术吗?
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发表于 2025-6-28 12:08
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最近半导体行业炸开了锅,英特尔一位高管抛出的“光刻将不再那么重要”引发了轩然大波。
有网友看了直接说:“中国的euv光刻机马上出来了,才说不重要。”
也有的说是因为受到华为堆叠技术影响,转变思路了。
这些话乍看挺有道理的,但还有更深层的原因。
光刻机的“高冷”现状
先说说光刻机界的“顶流”——ASML的High-NA EUV设备。它能做出1.4nm极限工艺的芯片,但现实很骨感:一台机器要花上3.5亿欧元,相当于人民币29亿左右,而且维护成本高得离谱。
更关键的是,随着3D堆叠、3D DRAM等新架构兴起,芯片设计越来越像“搭积木”,光刻那种平铺直叙的工艺反而显得笨重。
于是台积电干脆把大规模应用High-NA EUV的时间表推迟到2030年后,三星和英特尔也都在观望。
说白了,先进光刻机就像顶级跑车,性能再强,油耗太高也开不起。
ASML的甜蜜烦恼
ASML 虽然垄断EUV市场,但好日子也不好过。
2024年中国大陆贡献了其36.1%的收入,成为最大市场,但美国的出口管制和关税政策让这一地位岌岌可危。
更要命的是,新技术正在冲击ASML的护城河:EUV-FEL(极紫外自由电子激光)和原子光刻技术有望实现更高精度,且成本更低。
比如原子光刻直接操控原子排列,理论上能突破光刻的物理极限,而EUV-FEL的光源效率和波长可调性可能颠覆现有EUV技术。
刻蚀技术崛起
就在光刻遇冷的同时,刻蚀技术正在悄然逆袭。先进制程中,刻蚀步骤占比已超过50%,在3DNAND中甚至达到70%以上。
这是因为新型晶体管结构如GAAFET(全环绕栅极晶体管)和CFET(互补场效应晶体管)需要精准的横向材料去除,而刻蚀比光刻更擅长这一点。
打个比方,光刻是画蓝图,刻蚀则是砌墙,现在墙要砌得更精细,刻蚀自然成了主角。
而我国在刻蚀领域的突破尤为亮眼。中微半导体的刻蚀设备已进入台积电5nm供应链,在3D NAND市场占有率超过34%。
其自主研发的CCP(电容性等离子体)刻蚀机,能实现极高深宽比的刻蚀,精度达到原子级。
另一家企业新凯来推出的,支持从FinFET到GAAFET的工艺演进,部分技术指标已达到国际领先水平。
这些进展打破了美国应用材料、泛林集团的垄断,让中国在半导体设备领域有了更多话语权。
软件革命正在发生
硬件突破之外,软件同样在重塑制造业。
以云表平台为例,这个工业软件领域的“黑马”,正通过无代码开发和数据整合改变传统制造模式。
潞安化工引入其平台后,将安全隐患整改效率提升了大半,通过动态数据看板实现了风险实时监控。
其核心功能包括:
无代码开发
:无需专业编程,通过拖拽组件就能搭建应用。某制造厂的技术团队仅用一周培训,就自主开发了供应链管理系统,节省了数百万开发成本。
数据穿透能力
:整合生产、物流、质检等多源数据,形成“数字孪生”模型。某汽车零部件厂商通过其平台,将订单交付周期从15天缩短至7天。
流程自动化
:内置 RPA(机器人流程自动化),自动处理重复性工作。某电子厂用它实现了物料采购、库存管理、生产排程的全流程自动化,人力成本降低 30%。
小结
“光刻不再那么重要” 并非否定其价值,而是行业多元化发展的信号。
High-NA EUV遇冷暴露了单一技术路径的风险,而刻蚀、原子光刻、EUV-FEL等新技术的崛起,正在构建更灵活的制造生态。
中国在刻蚀和工业软件领域的突破,更是为全球半导体产业链注入了新活力。
最后,感谢您的阅读,更多精彩,评论区见。
文|胖胖
原文地址:https://zhuanlan.zhihu.com/p/1921975578304681384
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